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SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀設(shè)備概覽
基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀，具有非接觸、無損檢測(cè)、特異性高的優(yōu)點(diǎn)。可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對(duì)樣品進(jìn)行掃描從而對(duì)整個(gè)面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件，可對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算，直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定，重復(fù)性好，可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測(cè)。
① 光路接口盒：
內(nèi)置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；
② 光路轉(zhuǎn)向控制：
光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺(tái)等設(shè)備連用，可升級(jí)振鏡選項(xiàng)
③ 明視場(chǎng)相機(jī)：
明視場(chǎng)相機(jī)代替目鏡
④ 顯微鏡：
正置科研級(jí)金相顯微鏡，標(biāo)配落射式明暗場(chǎng)照明，其它照明方式可升級(jí)
⑤ 電動(dòng)位移臺(tái)：
75mm*50mm 行程高精度電動(dòng)載物臺(tái)，1μm 定位精度
⑥ 光纖共聚焦耦合：
光纖共聚焦耦合為可選項(xiàng)，提高空間分辨率
⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：
標(biāo)配CCD- 狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量
⑧ 光譜CCD：
背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī)， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%
⑨ 320mm 光譜儀：
F/4.2高光通量影像校正光譜儀， 1*10-5 雜散光抑制比
SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀主要應(yīng)用
選型表
型號(hào) | 描述 |
SPM300-mini | 基礎(chǔ)款半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，只含一路532nm 激光器，常規(guī)正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺(tái) |
SPM300-SMS532 | 多功能型半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，含532nm 激光器，常規(guī)正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺(tái)， 可升級(jí)耦合最多4 路激光器 |
SPM300-OM532 | 開放式半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀，含532nm 激光器，定制開放式顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺(tái)， 可升級(jí)耦合最多4 路激光器 |
系統(tǒng)參數(shù)
項(xiàng)目 | 詳細(xì)技術(shù)規(guī)格 |
光源 | 標(biāo)配532nm，100mW 激光器，其他激光可選，最多耦合4 路激光，可電動(dòng)切換，功率可調(diào)節(jié) |
光譜儀 | 320mm 焦距影像校正光譜儀，光譜范圍90-9000cm-1, |
光譜分辨率 | 2cm-1 |
空間分辨率 | <1μm |
樣品掃描范圍 | 標(biāo)配75mm*50mm，最大300mm*300mm |
顯微鏡 | 正置顯微鏡，明場(chǎng)或者暗場(chǎng)觀察，帶10X,50X,100X 三顆物鏡；開放式顯微鏡可選 |
載流子濃度分析 | 測(cè)試范圍測(cè)試范圍1017 ~ 1020 cm-3，重復(fù)性誤差<5% |
應(yīng)力測(cè)試 | 可直觀給出應(yīng)力屬性（拉力/ 張力），針對(duì)特種樣品，可直接計(jì)算應(yīng)力大小，應(yīng)力均勻性分析 （需額外配置電動(dòng)位移臺(tái)）, 應(yīng)力解析精度0.002cm-1 |
晶化率測(cè)試 | 可自動(dòng)分峰，自動(dòng)擬合，自動(dòng)計(jì)算出晶化率，并且自動(dòng)計(jì)算晶粒大小和應(yīng)力大小 |
測(cè)試案例舉例
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