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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。
卓立漢光的3D形貌測試儀應(yīng)運(yùn)而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。
卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā)，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（利號：CN207556477U）。該項技術(shù)，具有以下優(yōu)點：
| 技術(shù) | 線性共焦光譜技術(shù) | 點測技術(shù) | 激光掃描 | 3D相機(jī) |
| 速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
| 掃描寬度 | 6.5mm/20mm | 點 | 可選 | 大 |
| 分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
| 界面層數(shù) | 多層 | 多層 | 表面 | 表面 |
| 建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
| 數(shù)據(jù)量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
三維表面形貌測量儀主要特點有：
1、非接觸性測量；
2、線掃描，高效率；
3、微米級精度；
4、滿足透明面及高對比度表面測試；
5、支持二次開發(fā)；
三維表面形貌測量儀主要應(yīng)用
1、精密部件3D尺寸及段差測試；
2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；
3、3D玻璃缺陷檢測；
4、半導(dǎo)體表面缺陷測試；
5、多層薄膜厚度測試；
3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規(guī)格
|
| HawkEye-1300 | HawkEye-5000 |
| 方式 | 共焦光譜 | 共焦光譜 |
| 精度 | 1um | 8um |
| 重復(fù)性 | ±0.3um | ±4um |
| 線掃寬度 | 6.5mm | 20mm |
| Z軸量程范圍 | 1.3mm | 5mm |
| 掃描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
| 重量 | 5Kg | 8Kg |
| 尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |
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