大家都知道的是振動是一種能量，它以振動波傳遞，具有一定的頻率。我們的設備在運行時也有一個頻率段，當二者有重合的時候就是非常我們所說的振動與不穩(wěn)定。通常的振動頻率一般都是高頻，可在50-100HZ，而細微隔振就是通過隔振裝置達到衰減、吸收客觀環(huán)境下的振動能量，降低振動頻率使之降到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。
 

　　隔振平臺被設計用來使超精密儀器設備可以隔離來自于建筑地面的振動，可隔離的頻率低于1Hz。該系統(tǒng)可理想應用于光學顯微鏡、掃描探針顯微鏡(SPM)及計量儀器。具有主動隔振系統(tǒng)設計，可以輕松選擇并設置三個增益中的一個以獲得適合當前環(huán)境的性能。

　　隔振平臺主要還是包含了這五個組成部分：隔振臺面、減振單元、支撐腿、安全裝置、可調(diào)地腳。核心部件是減振單元和工作臺面。
 

　　隔振平臺的工作臺面按材質(zhì)大體分兩大類：大理石臺面和不銹鋼臺面。大理石臺面一般對工作面是00級要求，而不銹鋼臺面也要求有不超過0.02mm的水平誤差，這一切都是基于保證設備水平的技術要。
 

　　隔振平臺的減振單元主要使用氣浮減振器(空氣彈簧減振器)。具體又可以根據(jù)實際的使用情況下選擇精密氣浮減振器和常規(guī)的氣浮減振器。