名稱

檢驗(yàn)精度或范圍

廠家國(guó)別

說(shuō)明

5維激光干涉儀

長(zhǎng)度方向：0.02µm

角度：0.1＂

美國(guó)

成品檢測(cè)

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

（也稱三次元測(cè)量?jī)x）

系統(tǒng)分辨率：0.078µm

測(cè)量精度：2.8µm+L/300

合資（瑞典）

零件檢測(cè)、成品檢測(cè)

平面度檢測(cè)儀

0.01～0.001mm/m

中國(guó)

成品檢測(cè)

振動(dòng)頻率檢測(cè)儀

0.06～1000Hz

中國(guó)

成品檢測(cè)

安規(guī)綜合測(cè)試系統(tǒng)

漏電流：0.01mA

接地電阻：0.01Ω

英國(guó)

成品檢測(cè)（電子類）

數(shù)顯測(cè)微自準(zhǔn)直儀

0.1＂

中國(guó)

成品檢測(cè)

齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

1µm

中國(guó)

零件檢測(cè)

萬(wàn)能工具顯微鏡

1µm

中國(guó)

部分成品及零件檢測(cè)

洛氏硬度計(jì)

20～70HRC

中國(guó)

部分成品及零件檢測(cè)

機(jī)械振動(dòng)臺(tái)

加速度:10g；頻率：10～80Hz

中國(guó)

成品檢測(cè)

高低溫循環(huán)實(shí)驗(yàn)箱

-40～150°C

中國(guó)

成品檢測(cè)

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備：包括000級(jí)大理石測(cè)試平臺(tái)、萬(wàn)用表、示波器、光柵尺及數(shù)顯表、萬(wàn)能角度尺、卡尺、刀口尺、

檢測(cè)零件

檢測(cè)項(xiàng)目

檢測(cè)范圍

檢測(cè)設(shè)備

常規(guī)機(jī)加工零件

物理尺寸及圖紙要求

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

關(guān)鍵機(jī)加工零件

有關(guān)鍵指標(biāo)的基準(zhǔn)面、定位面的精度等

所有產(chǎn)品

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

蝸輪蝸桿

材料

TBR系列、TBG系列等

第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)

蝸輪蝸桿

硬度

TBR系列、TBG系列等

洛氏硬度計(jì)

蝸輪蝸桿

嚙合精度

限TBR系列

齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

絲杠

物理尺寸及圖紙要求

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

絲杠

同軸度

限CXP系列、SIN系列、XYR系列抽檢

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、齒輪雙面嚙合綜合檢查儀

導(dǎo)軌及軸承

物理尺寸及圖紙要求

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

導(dǎo)軌及軸承

基準(zhǔn)面、定位面精度

所有產(chǎn)品

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

常規(guī)外購(gòu)零件

物理尺寸及圖紙要求

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

關(guān)鍵外購(gòu)零件

有關(guān)鍵指標(biāo)的基準(zhǔn)面、定位面的精度等

所有產(chǎn)品

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

檢測(cè)項(xiàng)目

直線及升降滑臺(tái)

旋轉(zhuǎn)、擺動(dòng)滑臺(tái)及對(duì)位平臺(tái)

檢測(cè)設(shè)備

行程

所有產(chǎn)品

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

重復(fù)定位精度

所有產(chǎn)品

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

微步運(yùn)動(dòng)重復(fù)定位精度

限CXP系列

/

激光干涉儀

回程間隙

所有產(chǎn)品

所有產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

背隙

CXP系列、KA系列、PA系列

TBR系列、TBG系列

推力計(jì)、千分表

微步運(yùn)動(dòng)回程間隙

限CXP系列

/

激光干涉儀

運(yùn)動(dòng)性能（包括速度、加速度等）

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

常規(guī)檢測(cè)設(shè)備

精度（定位精度）

CXP系列、KA系列、PA系列

限TBR系列、DDR系列

激光干涉儀

微步能力

限CXP系列

/

激光干涉儀或千分表

運(yùn)動(dòng)直線度

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

/

激光干涉儀或自準(zhǔn)直儀

運(yùn)動(dòng)平行度

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

/

激光干涉儀或自準(zhǔn)直儀

靜態(tài)平行度

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

標(biāo)稱該技術(shù)指標(biāo)的產(chǎn)品

千分表或三坐標(biāo)檢測(cè)儀

俯仰

CXP系列、KA系列、PA系列

/

激光干涉儀或自準(zhǔn)直儀

偏擺

CXP系列、KA系列、PA系列

/

激光干涉儀或自準(zhǔn)直儀

端面（軸向）跳動(dòng)

/

限旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)

千分表

徑向跳動(dòng)

/

限旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)

千分表

大凈轉(zhuǎn)矩

/

限TBR系列

扭力扳手、測(cè)試工裝